1. 定义与原理,黄金版本v5.68.373 **化学气相沉积技术:从基础到应用全面解析**一、引言化学气相沉积(CVD)技术,作为现代材料科学领域的重要工艺,正日益受到科研人员和工业生产者的关注,它通过气态前驱体的化学反应,在固体表面形成固态材料,本文将全面解析化学气相沉积的原理、技术、应用及发展前景,帮助读者从基础到深入理解这一技术,**二...